デイスク型遠心分離機による水系・アルカリ系洗浄液のリサイクル
アルファ・ラバル株式会社 湘南センター プロセス機器営業部 課長
青木 裕
デイスク型遠心分離機は、高遠心力によりエマルジョン相もオイルと水に分けられ、1ミクロン以下の微粒子も除去できるものである。本稿ではその歴史、概要を述べた後、水系・アルカリ系洗浄液のリサイクルに応用した事例として、基板メーカーでは3日毎に交換していた洗浄液が6年間そのまま使用できた例や、自動車メーカーでは洗浄液中の油分や固形分濃度が顕著に減少し、長期間安定な洗浄が可能になった例などを紹介した。最後にアルファ・ラバル洗浄液用遠心分離システムについて説明した。