結晶系Si太陽電池のテクスチャー形成技術
Texturing Technique for Crystalline Silicon Solar Cells
三菱電機株式会社 中津川製作所 太陽光発電システム第一部 セル開発課 専任
西本 陽一郎 Nishimoto Yoichiro
太陽光の表面には微小凹凸が形成され、この微小凹凸により表面反射率を下げると共に、吸収されにくい光を太陽電池内で多重反射させ、できるだけ多くの光を太陽電池に吸収させている。このような微小凹凸を総称してテクスチャー(以下、Tex.と記述)と呼ぶ。
本稿ではウェットエッチングによる結晶系Si太陽電池のTex.形成技術について解説するとともに、多結晶Si太陽電池用の新Tex.形成技術である金属触媒Tex.について紹介する。