光学部品向け洗浄装置
Cleaning Equipment for Optical Product
新オオツカ株式会社 技術部 参与
斎田 武彰 Saita Takeaki
LED、有機EL、光通信、デジタルカメラなどの精密光学部品に付着する有機物やパーティクルの除去にはさまざまな溶剤が使用され、補助的手段で超音波が利用されている。洗浄の課題は、環境に対応している、洗浄精度の向上、安価でスペースが少なくて済む、である。本稿では環境に配慮した洗浄剤として光学部品分野で広く活用されている「フッ素系洗浄剤」を使用した洗浄装置を紹介する。