- 小型基板洗浄機 Ecclear（エクリア）
- 並木精密宝石株式会社
- Ecclear（エクリア）は、直径２インチ未満の小型基板に対して高いレベルの洗浄・乾燥
を可能とした世界初の装置です。
直径２インチ以上の結晶が得られない新規材料基板など、小型の基板に対する洗浄は手法が
限られ、高い清浄度の達成は困難でした。このため新規材料が２インチサイズとなるまで
材料本来の性能を引き出すデバイスは作成不可能でした。
EcclearはLED向けサファイヤ基板の製造などで培われた独自の洗浄ノウハウに加え新規に
開発した小型基板専用の洗浄・乾燥機構を採用しました。
これらにより小型基板に対しても高い洗浄能力発揮し、新規材料基板の開発において壁と
なっていた洗浄の問題を解決しました。基板の大口径化を待たずに材料の開発を短期間かつ
省資源で行うことができます。
