• 株式会社旭リサーチセンター 主席研究員 遼寧中旭智業有限公司　副総経理
• 長谷川 雅史　Hasegawa Masafumi

 中国の水質環境に関する基本的な法規制は「水汚染防治法」である。それに基づき、地表水の水質環境基準として国家標準「地表水環境品質標準」、水汚染物質の排出規制については国家標準「汚水総合排出標準」が制定されている。排出規制については、総合的な国家標準のほか、個別業種の工業廃水を対象とした国家標準がある。さらに、省級政府レベルでは、国家標準より厳しい地方標準を制定しているところがある。

• 栗田工業株式会社 開発本部　装置開発第一グループ　第一チーム 主任研究員　工学博士
• 横井　生憲　Yokoi Ikunori

 半導体、液晶、精密部品メーカーなどの洗浄工程で多量に使用する超純水の水質は製品の機能により多種多様であるが、半導体製品の高性能化・極微細化とともに超純水製造技術は進歩してきたと言っても過言ではない。ここでは、半導体と液晶の洗浄工程で使用する超純水と機能水について紹介する。

• 旭化成ケミカルズ株式会社 膜・水処理事業部マイクローザ・テクニカルマーケティング部 副部長
• 小川　高史　Ogawa Takashi

 エレクトロニクス産業において膜利用水処理技術は、超純水の原料となる水の前処理、超純水の製造および排水処理に至るまで適用されている。このように幅広く使用されるようになった背景には、目的に応じた膜モジュールと適用技術の開発がある。ここでは、半導体や液晶パネルを中心としたエレクトロニクス産業での、膜利用水処理技術についてUF、MF の適用例を紹介する。

• オルガノ株式会社 第三開発部
• 澄田　康光　Sumida Yasuteru

 電解水には優れた殺菌効果と脱脂洗浄効果がある。電解水は水と原料（電解質）と電気があれば手軽に生成でき、環境に対して低負荷であり、経済性にも優れている。電解水を使用する場合、製造装置を現場に設置しオンサイトで電解水を生成するのが一般的である。そこで、電解水を使用するにあたり、製造装置を含めて理解することが必要である。ここでは、当社で開発した2 機種の電解水製造装置と、それから生成される電解水の特徴および効果について解説する。

• リオン株式会社 環境機器事業部　開発部 主席技師　工学博士
• 近藤　郁　Kondo Kaoru

 粒子汚染を除去する洗浄において、洗浄工程の管理や洗浄の評価に粒子測定は必須である。リアルタイムに液中の粒子数を測定するパーティクルカウンタの原理や構成を解説するとともに、洗浄プロセスでの運用方法の例を示す。

• 大和化学工業株式会社 CS グループ サブリーダー
• 岩田　芳文　Iwata Yoshifumi

 水系洗浄廃液のリサイクル技術の例として、金属熱処理工程の一部である塩浴処理後の洗浄廃液とソルトのリサイクルシステムおよびメッキ工程後の洗浄廃液のリサイクルシステムを紹介する。いずれのシステムも減圧蒸留装置を使用し、薬品および水を再利用した実例とその技術ポイントを解説する。